在世界各地，各種類型的計(jì)量應(yīng)用共同需要提高精度。計(jì)量學(xué)是測(cè)量的科學(xué)研究。計(jì)量應(yīng)用程序采用某種類型的測(cè)量來收集某些數(shù)據(jù)。生命科學(xué)，半導(dǎo)體和電子制造等市場(chǎng)依靠計(jì)量?jī)x器來確保其過程正確完成。當(dāng)您意識(shí)到樣品/產(chǎn)品可能非常小（即人體細(xì)胞）以及高度敏感（即觸摸屏電子）時(shí)，對(duì)精確度的需求將得到進(jìn)一步強(qiáng)調(diào)。擁有高精度的運(yùn)動(dòng)技術(shù)是確保應(yīng)用成功完成的關(guān)鍵。
計(jì)量應(yīng)用
下面列出了市場(chǎng)上的計(jì)量應(yīng)用的一些例子。許多應(yīng)用程序也可用于多個(gè)市場(chǎng)。例如，所有市場(chǎng)都會(huì)在其流程中使用某種類型的顯微鏡。
生命科學(xué)
顯微鏡
光譜
DNA測(cè)序
半導(dǎo)體
晶圓檢查
光刻
光學(xué)輪廓術(shù)
電子產(chǎn)品
激光輪廓術(shù)
非接觸式計(jì)量
計(jì)量應(yīng)用的類型
有不同類型的計(jì)量應(yīng)用，每個(gè)都有自己的關(guān)鍵考慮因素。這篇博客文章將重點(diǎn)關(guān)注動(dòng)態(tài)計(jì)量。
動(dòng)態(tài)計(jì)量 - 在測(cè)量傳感器或被測(cè)單元運(yùn)動(dòng)時(shí)收集測(cè)量數(shù)據(jù)的應(yīng)用
靜態(tài)計(jì)量 - 在測(cè)量傳感器和被測(cè)單元都處于穩(wěn)定位置時(shí)收集測(cè)量數(shù)據(jù)的應(yīng)用
聚焦 - 一種特殊類型的靜態(tài)測(cè)量，其中軸（通常是垂直的）用于聚焦在樣品上進(jìn)行測(cè)量
動(dòng)態(tài)計(jì)量
靜態(tài)計(jì)量需要良好的速度和輪廓控制，而動(dòng)態(tài)應(yīng)用需要穩(wěn)定和穩(wěn)定性控制。動(dòng)態(tài)計(jì)量應(yīng)用越來越多地與高科技市場(chǎng)中基于激光的光譜測(cè)定和應(yīng)用相關(guān)聯(lián)。半導(dǎo)體和電子制造業(yè)幾乎在所有工藝中都使用線掃描，而進(jìn)行高內(nèi)容通量細(xì)胞分析或DNA /基因測(cè)序的生命科學(xué)儀器也是動(dòng)態(tài)的。精密激光切割也是一種動(dòng)態(tài)應(yīng)用。由于執(zhí)行器在進(jìn)行測(cè)量時(shí)處于運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，因此關(guān)鍵規(guī)格與其運(yùn)動(dòng)性能有關(guān)，包括：
定位誤差通常根據(jù)定位精度和定位的可重復(fù)性來規(guī)定。這些錯(cuò)誤的實(shí)際來源可能出現(xiàn)在三個(gè)子類別中 - 線性，阿貝（滾動(dòng)，俯仰，偏航）和平面誤差。這些錯(cuò)誤的來源各不相同，可能在生產(chǎn)過程中或應(yīng)用程序正在進(jìn)行時(shí)發(fā)生。例子包括偏轉(zhuǎn)，摩擦，軸承和加工不一致以及反饋裝置。
速度控制與舞臺(tái)運(yùn)動(dòng)的速度和控制它的能力有關(guān)。當(dāng)與命令速度相比存在速度變化時(shí)，這被稱為速度波動(dòng)。速度控制對(duì)于動(dòng)態(tài)計(jì)量應(yīng)用至關(guān)重要，因?yàn)槿绻谡麄€(gè)應(yīng)用過程中速度變化，則無法始終獲得準(zhǔn)確且一致的結(jié)果。
對(duì)于要求高精度和高速度的動(dòng)態(tài)測(cè)量應(yīng)用而言，最佳執(zhí)行器選項(xiàng)是線性電機(jī)驅(qū)動(dòng)級(jí)，特別是帶有無鐵心直線電機(jī)的級(jí)。由于線性馬達(dá)直接耦合到線性負(fù)載，因此與螺釘或皮帶驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)器相比，齒隙，效率損失和其他位置不準(zhǔn)確性大大降低。而且，線性電動(dòng)機(jī)通常具有較小的形狀因數(shù)，總體上將改善剛度和位置誤差。最后，線性電機(jī)執(zhí)行器在整個(gè)應(yīng)用中可以最好地控制其速度。
在保持合理的商業(yè)成本的同時(shí)，線性電機(jī)執(zhí)行器是唯一能夠滿足前面討論的動(dòng)態(tài)計(jì)量應(yīng)用的關(guān)鍵規(guī)格的執(zhí)行器。為了證實(shí)這一點(diǎn)，派克使用激光干涉儀測(cè)量任何潛在的位置誤差。在測(cè)試之后，生成關(guān)于執(zhí)行器性能的報(bào)告，其始終顯示線性馬達(dá)致動(dòng)器優(yōu)于具有其他傳動(dòng)系機(jī)構(gòu)的致動(dòng)器。
派克計(jì)量應(yīng)用解決方案
線性電機(jī)執(zhí)行器的級(jí)穩(wěn)定性和速度控制對(duì)于成功的動(dòng)態(tài)計(jì)量應(yīng)用至關(guān)重要。Parker在高科技精密市場(chǎng)擁有20多年的經(jīng)驗(yàn)，提供專業(yè)知識(shí)和咨詢服務(wù)，幫助儀器開發(fā)人員優(yōu)化設(shè)備和工藝的精確度。這些流程優(yōu)化將有助于持續(xù)降低客戶的總體支出，同時(shí)提高吞吐量。
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